蓝宝石退火炉装炉工艺步骤

 

蓝宝石晶体的退火流程通常为装炉、升温、保温、降温和出炉,其中升温、保温和降温为关键步骤,直接关系到蓝宝石晶体的退火质量。首先介绍装炉的工艺步骤,主要分为五步:

  1)安装钼丝坩埚:将蓝宝石晶体轻放于坩埚内,周围装填晶体碎颗粒,晶体之间间隔一定距离,填充物保持疏松,防止加热膨胀损伤晶体。将钼丝坩锅放在底座上,置于发热体的中心,保证温度均匀。

  2)安装极靴和发热体:保证极靴和电极、极靴和发热体接触良好。其中极靴和发热体的连接螺母应拧紧,氧化层必须用砂纸清除干净。发热体应插紧在极靴的锥槽中。

  3)隔热罩的安装:隔热罩置于石墨塔上必须稳固和垂直,每层的罩盖要放好,石墨塔座与加热体同心。

  4)炉盖和底盘:炉壳的底平面须用四氯化碳或乙醚清洁,底盘的‘O’型槽及密封圈都必须擦拭干净,并涂上真空脂。同时检查一下冷却水是否畅通。放下炉壳后,转动一下,使封接处紧密。

  5)抽真空后通氢气:先开启机械泵约30分钟,待真空到10-3毫米汞柱左右,可开始通加热扩散泵,并打开冷却水阀。要求真空度在10-3-10-4毫米汞柱。为了达到理想的真空,必须要求所有的密封处密封性良好,炉膛清洁。一般它用机械泵抽气工作30分钟后,才能使扩散泵工作。真空度测量利用装在炉顶上的放电管,用高频火花鉴别。无辉光放电时,表明真空度已达到要求。之后通入经过净化和干燥的氢气。